Hệ thống phún xạ Load-lock

Hệ thống phún xạ Load-lock (Load-lock Sputtering System) là một thiết bị sử dụng trong công nghiệp và nghiên cứu để thực hiện quá trình phún xạ chất lên bề mặt các mẫu vật liệu, thường là trong môi trường chân không hoặc khí quyển kiểm soát. Chức năng chính của hệ thống phún xạ Load-lock bao gồm:
– Phún xạ vật liệu lên bề mặt;
– Tạo lớp phủ bảo vệ;
– Tạo ra cấu trúc nanô và micro;
– Kiểm tra và nghiên cứu vật liệu;
– Ứng dụng trong công nghiệp và nghiên cứu.

  • Kiểu dáng: DS 4004
  • Hãng sản xuất: DADA
  • Xuất xứ: Hàn Quốc

Mô tả

Buồng chính:
– Kích thước: Φ500*410H, SUS304: 01
– Cổng đế CF10″: 01
– Cổng bơm CF8″: 01
– Cổng ca tốt: 04
– Cổng gauge CF 2.75″: 05
– Xi lanh đứng, cửa phía trên: 01
– Cửa loại điều khiển đóng mở bằng mô tơ: 01
– Tấm chắn bảo vệ chống nhiễm bẩn: 01
– Cửa sổ quan sát 8″: 01
– Màn chập 8″ cho cửa quan sát: 01
– Chiếu sáng buồng mẫu: 01
Mô đun đế:
– Bộ giữ mẫu 4″: 01
– Đèn halogen (nhiệt độ 700 °C), làm mát bằng nước: 01
– Xoay mẫu tốc độ 0-30 vòng/phút: 01
– Tay điều khiển trục Z 2″: 01
– Màn chập mẫu/ điều khiển bằng khí nén: 01
Mô đun ca tốt:
– Nguồn RF và bộ auto matcher 600W: 02
– Nguồn DC 750W: 02
– Súng phún xạ magnetron và màn chập 2″: 04

Chúng tôi sẵn lòng trả lời các câu hỏi liên quan tới sản phẩm, dự án mà quý khách hàng đang có nhu cầu!

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên nhận xét “Hệ thống phún xạ Load-lock”

Email của bạn sẽ không được hiển thị công khai. Các trường bắt buộc được đánh dấu *

Go to Top