• Hệ thống phún xạ Load-lock
  • Hệ thống sắc ký khí
  • Hệ thống sắc ký khí ghép nối khối phổ đơn tứ cực
  • Hệ thống thiêu kết xung plasma
  • Kính hiển vi điện tử quét
  • Kính hiển vi phân cực